水银真空泵的发明者、德国吹玻璃工人盖斯勒（Johann Heinrich Wilhelm Gei?ler
，1814、5、26-1879、1、24）出生。以他的姓氏命名的有盖勒斯泵和盖斯勒管。尽管17世纪就已经出现了抽真空的专门器具，但是直到盖斯勒发
明的真空泵之后，才使得真空玻璃管的真空度达到0.1毫米汞柱。这种泵的核心原理和日常的水银温度计类似，巧妙地利用了水银在玻璃管里能够形成很好的真空
的特性，反复稀释和抽走容器里面的空气。看得出，这是一个典型的能工巧匠的设计成果。
真空泵即降低容器或腔室内的压力以形成真空的设备，降低压力的基本方式有两种：物理法从容器中排出气体分子并从系统中排掉，或者从气相中除去气体分子，但保留在系统中，例如成为液体。
真空泵有：①油旋转泵，由圆柱形缸体（称定子）和在缸内转动的圆柱体黑子组成。自流的油保证了气密、润滑并使泵冷却，泵运转时将转子和定子间的气体从进
气口驱到排气口排掉；②回转鼓风机或称机械增压泵，依靠驱动一个或几个装有叶片、桨叶或轮翼的迅速转动的旋转体排出气体；③罗茨鼓风泵是回转鼓风机的一种
特殊形式，装有2个“8”字形相互啮合的转子；④蒸气泵，没有转动件，从泵的进口注射出口的蒸气流将气体分子从系统中排出；⑤扩散泵，与蒸气喷射泵类似，
但在捕捉气体分子方式上有所不同，从扩散泵中，只有从扩散到泵内的分子受到蒸气的作用，在蒸气喷射泵中，则气体被抽到蒸气造成的低压区；⑥分子泵，通过迅
速转动的表面，将动量传递给气体分子，在进气口和排气口没有机械式，也不需要给本系统带来污染的工作气体。此外还有低温泵、吸附泵、溅射离子泵、钛升华泵
共10种。
