电池片烧结后外观异常（脏片、水纹印、晶界亮片、雾状

电池片烧结后雾状发白片（脏片）问题排查思路和验证结果 排查一.烧结炉问题 设备厂家：DESPATCH 排查过程：对比多条线的烧结炉均有此问题出现 结论：不是此异常 排查二.二次清洗（去PSG） 设备厂家：库特勒 排查过程：1.增加混酸槽浓度2.增加碱槽浓度3.提高热风刀温度4.对所有槽体清洗并重新配槽5.对比打开关闭抗PID（臭氧）设备 结论：二次清洗的所有调整并未能解决异常问题（之前出现的烧结后水纹印等二次清洗的调整后可以改善） 排查三.一次清洗（清洗制绒） 设备厂家：库特勒 排查过程：将制绒好的硅片直接镀膜，并未发现异常问题 结论：不是此异常（待继续验证） 排查四.PECVD 设备厂家：ROTH&RAU(板P) 排查过程：1.调节加热器升温速率（论坛资料参考）2.更换PECVD生产工艺（大幅度降低气体流量）3.加长预热腔预热时,  结论：1.尝试了未解决异常 2.更换PE工艺后异常问题得到明显改善  3.无明显效果。 排查五：扩散 设备厂家：捷佳伟创 排查过程：查看论坛资料说可能和扩散有关系准备排查氧气、氮气、抽风等。 问题小结：开始使用抗PID臭氧设备后，电池片烧结后就出现各种烧变现象（烧结后手指印、水纹印、絮状发白等等），再通过多方面改进和规范后，以上问题基本解决，本次突发的异常问题面积大，出现比例高（50%），现在基本通过改善PECVD生产工艺（降低各特气流量）控制在可控的范围内，但对比之前生产的电池片还是存在不同，在未使用抗PID前，未出现过大量烧变现象，现在即使停用抗PID工艺还是出现烧结后晶界发亮片，所以在此怀疑真正造成“电池片烧结后雾状发白片（脏片）问题”的根本原因还在其他工序的某个环节，然后看到网上很多公司都出现过类似的问题，有已解决问题的，也有还在被此类问题困扰的，希望大家能把自己解决问题的思路和方法提出来大家一起探讨。