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当代的超精密的加工和微细加工技术已经达到了0.1-0.01微米级别的加工精度和0.01-0.001微米级的表面粗糙度的水平，要完成如此高的加工要求，工艺装备的设计是一个非常重要的任务。 1.精密度最佳的匹配的原则 精密加工装备必须进行精度设计，使得机械，电子，气体，液体，光能，计算机等各个组成的部分的精度分配到最佳的精度状态。例如，一些关键的机械零部件的结构设计和制造精度最准应该获得最佳的匹配值。工艺装备中的光电控制，检测元件，计算机系统等精度和稳定性应该处于最佳的工作位置或者状态。工艺装备中工件相对于刀具的移动轨迹，感应同步器，光栅，激光干涉仪等元器件的安装位置对工件精度和测量精度的影响，等等，这些都是我妈在精密加工装备设计的时候不可忽略的因素。 2.尺寸链最优的原则 精密加工装备的零部件之间存在着极为密切的尺寸，运动和位置的关系，以及构成各种形式的尺寸链，在装备设计的时候，可以根据产品的使用性能，精度指标，结构工艺性和经济加工精度等要求，通过尺寸链的分析，计算，确定尺寸链最短或者尺寸链最优的方案。 3.变形最小原则 精密加工装备从本质上来说是一台工作母机，或者是由工作母机和附加的夹具或者其他的装备做组成的，对诸如热，力效应，内应力或者磨损等因素所引起的工艺系统变形十分的敏感，这种变形会严重的影响整套加工装备的精度的指标，所以提高基础的机械元件的刚度，减少传动机构的各种摩擦，并使得机械工件和检测元件处于同一温度层中，都是实现变形的最小的原则的有效措施。
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