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光栅数字式传感器的应用

 双鱼智慧 2016-09-05
光栅是用光刻或照相法在透明光学玻璃上刻画的透射率成正弦或矩形的周期条纹。指示光栅一般较主光栅短,两者科线密度相同,照明光源要求有足够功率输出、寿命长,和接收光电探测器灵敏波长匹配,常用钨丝灯,半导体发光管或半导体激光器等。把两块光栅常数相同的光栅相对叠合,并使光栅线之间成一小角,于是在近垂直于栅线方向上出现明暗相同的粗条纹。
摩尔条纹宽度随夹角的减小而增大,与光栅常数相比称为莫尔放大功率。显然莫尔条纹原理把对一个微小移动量的测量变成对一个较大移动量的测量,大大提高了测量的精度。莫尔条纹是在一定范围内大量刻线产生的综合条纹,对光栅局部刻线误差起到平均作用,就有可能得到比光栅本身更高的测量精度。莫尔条纹强度分布近似正弦型分布,故便于对电信号进一步作细分,将计数单位变成一个周期的分数,以进一步提高测量精度。
莫尔条纹技术还可以用作角位移测量,只需改直线光栅为径向光栅即可。径向光栅就是在一个圆盘上刻有等角间隔的径向条纹,两块径向光栅的辐射中心略微错开,度盘光栅中心为C1,标尺光栅中心为C2,便形成垂直于两中心连线垂直的平分线的莫尔条纹,当标尺光栅相对指示光栅旋转(角位移时),莫尔条纹移动的数码给出标尺光栅相对指示光栅的角位移大小。刻线角间距一般取20.
制作角位移莫尔测角传感器时,要注意只有将指示光栅置于两光栅中心连线的垂直平分线方向,才能得到与之垂直移动的规则的横向莫尔条纹,在其他方向得到的是呈纵向或斜向不规则的莫尔条纹。在光栅数字传感器的应用中还应注意辨向和细分问题。
辨向技术。无论是线位移或角位移的测量中,物体运动并非完全是单向移动,它有正向,也有逆向,但单位光电单元只能给出脉冲数,而不能辨别移动方向,如被测件迁移10个栅距又反向逆移2个栅距,单个光电元件记录了12个脉冲,表示移动了12个栅距,然而实际上只移动了8个栅距,必须将正向10个脉冲减去逆向2个脉冲才对。

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