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由于气体分为单质气体、多元气体、混合气体和有机化合物气体等，所以可将组成气体的物质（或元素）称为该气体成分。因此气体纯度的含意可理解为：除本气体成份外，所含其它物质的多少。例如：氮气的纯度，是指除N2成份外，含的O2、H2、Ar、CO2、H2O、金属、尘粒等杂质的多少；又如氮和氦的混合气，是指除N2和He成份外，含有的O2、CO2、H2O尘粒等杂质的多少。
准确表示气体的纯度，主要有三种方法。即：
1、用百分数表示，如99.5%，99.9%,99.99%,99.999%,99.9999%,99.99999%等。
2、用“N”表示，如3N，5N，4N8，5N5，6N，7N等，N数目与（1）中的“9”的个数相对应，小数点后的数表示不足“9”的数。如4N（99.99%），6N（99.9999%）,7N(99.99999%),4N8(99.998%),5N5(99.9995%)等。
3、用“.”表示，如4.8（99.998%）、5.0（99.999%、6.0(99.9999%)
为了方便识别产品质量，气体纯度的等级用百分比表示：
Ar 4.8
纯度 99,998% | He 5.0
纯度 99,999% | H2 6.0
纯度 99,9999% | | 杂质 | 杂质 | 杂质 | | H2O <. 4 ppm | H2O < 3 ppm | H2O < 0.5 ppm | | O2 < 3 ppm | O2 < 1 ppm | O2 < 0.2 ppm | | N2 < 10 ppm | N2 < 4 ppm | N2 < 0.2 ppm | | THC < 0.2 ppm | THC < 0.2 ppm | THC < 0.1 ppm | | CO+CO2 < 0.2 ppm | | CO+CO2 < 0.1 ppm | | 总杂质: < 20 ppm | 总杂质: < 10 ppm | 总杂质: < 1 ppm |
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