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零基础入门芯片制造行业---SPC

 郑公书馆298 2017-04-26


SPC

1.

SPC的缩写?


答:Staistic Profermance Control,SPC的统计时,常会有OOCOOS的情况发生

2.

什幺是OOS?


答:out of spec;制程结果超出允收规格, 超出Control 但仍在Spec之内的制程变异

3.

什幺是OOC?


答:out of control; 制程结果在允收规格内但是违反统计制程管制规则;用以警讯机台或制程潜在可能的问题



如左图所示,Spec high & low 为规格上、下限, 在规格上、下限之内, 再卡一道control 上下限, 用以提醒注意制程的控制

4.

什幺叫trend chart


答:Trend chart SPC中一个重要的工具,是指某一工艺参数随时间的变化而画的图。它能告诉人们机台的特性或工艺发生了变化没有。

5.

何谓样本?


答:以调查群体特性为目的,从总体中抽出的个体。

6.

何谓极差(Range?


答:一组测定值中最大值与最小值之差。

7.

何谓中位数?


答:当测定值按大小次序排列时,其恰恰位于中央之值,或两中央值(测定值数为偶数)的算术平均数。

8.

何谓标准偏差?


答:偏差数的正平方根。以σ表示,即


9.

何谓控制图?


答:控制图是对过程质量特性加以测定、记录并从而进行控制的一种应用统计方法设计的图,由中心线CL,上控制线UCL和下控制线LCL以及具有按时序抽取的样本统计量数值的描点序列组成。

10.

何谓CP?


答:潜在过程能力指数或工艺精密度。

11.

何谓K?


答:工艺准确度。

12.

何谓CPK?


答:实际工程能力指数。

13.

何谓重复性?


答:指量测仪器之变异性(Equipment Variation : EV), 由同一人员使用同一量具量测同一标准件多次之后, 来估算其变异。

14.

何谓再现性?


答:不同人员之间的变异性(Appraiser Variation : AV), 由不同人员使用相同量具量测同一标准件多次之后, 来估算其变异。

16.

GRR的全名是什幺?


答:Gage Repeatability & Reproducibility

17.

DOE的全名是什幺?


答:Design Of Experiment

18.

ANOVA的全名是什幺?


答:Analysis of Variance

19.

SPC的目的是什幺?


答:预防不合格品和服务的产生,降低成本和对过程进行预防性持续性改善。

20.

根据其来源,偏差可分为哪两种?


答:偶然原因和非偶然原因。(或随机原因和异常原因)

21.

根据其特性,数值可分为哪两种类型?


答:计量值和计数值

22.


右侧分别为哪两种品质手法的图表



答:柏拉图和查检表

23.

Pareto Chart的主要特点是什幺?


答:显示最高的2~3个项目所占比率往往是绝大多数。

24.

直方图的图象与区间的划分是否有关?


答:有关。

25.

管理活动中的PDCA循环是指什幺?


答:PLAN, DO, CHECK, ACTION

26.

正态分布受哪两个参数的影响?


答:μσ

27.

当特性值为正态分布时,量测值落在Mean ±3σ的几率为多少?


答:99.73%

28.

Shewhart Chart 由几条水平线组成?分别是什幺?


答:三条:UCL, CL, LCL

29.

Control Chart 的主要用途是什幺?


答:用于判断process是否处于稳定状态

30.

简述Trend Chart, Xbar ChartR(S) Chart的差异。


答:Trend chart monitor raw data, Xbar chart monitor mean, S(R) chart monitor standard deviation

31.

Control Limit制定的原理是什幺?


答:正态分布的3σ原理

32.

使用3σ管理图时,将随机原因造成的变异判定为异常的概率(α)是多少?


答:0.27%

33.

简述Spec Limit Control Limit的差别?


答:Spec Limit based on performance required of the product and tells us when to disposition the product/material; Control Limit based on actual historical process performance and tells us when to take action on the process/equipment.

34.

SMIC使用的五个Warning Rules 分别是什幺?


答:Rule 1. 某一個點超出三倍的標準差

Rule 2. 連續三個點中, 有兩個點超出兩倍標準差

Rule 3. 連續五個點中, 有四個點超出一個標準差

Rule 4. 連續八個點都在中心線的上方或下方

Rule 5. 連續七個點递增或递减

35.

控制图中的Warning Rules是否使用的越多越好?


答:不是

36.

下图违反了哪些Warning Rule?



答:Rule1, Rule2Rule4

37.

Control Chart显示Process处于安定状态时的特点是什幺?


答:1. 没有点溢出管理界限外;2.. 点的排列没有出现习惯性。

38.

Control Chart出现OOC时,MA和工程师应该怎幺做?


答:Follow OCAP找出root cause, 并采取action使制程恢复正常。

39.

CP的大小与什幺有关?


答:规格上限和规格下限。

40.

当工程能力指数Cp=1.3时,表示工程能力处于什幺水平?


答:具有工程能力,但不充分。


41.

量测系统分析主要包括哪五个方面?


答:量测系统分析主要包括准确性、重复性、再现性、稳定性和线性

42.

GRR的公式是什幺?


答:GRR的公式是:


43.

GRR的适用范围是什幺?


答:GRR的适用范围是:

a.非破坏性之量测数值;

b.量具精准度比被测特性规格为高

44.

GRR的结果判定标准是什幺?


答:GRR的结果判定标准是:

误差在 10% 以下: 量测系统十分可靠, 尔后每一年校正一次即可;

误差在 30% 以下: 量测系统可以接受, 尔后每半年需校正一次;

误差超过 30% : 量测系统须加以改进, 停止量测.

45.



右边的散布图中YX是否相关?如相关,属何种相关?



答:相关;负相关。

46.

相关系数r的取值范围是多少?


答:–1 r 1

47.

在回归直线y = kx + b中,k叫做什幺?


答:斜率。

48.

回归分析的主要用途是什幺?


答:回归分析的主要用途是分析两组()以上的变量间的相关性, 研究自变量 (X1,X2,X3,..) 对应变量(Y) 的影响程度。

49.

三因子两水准的全因子实验设计有多少个design point


答:8个。

50.

数组1012152413162018的极差和中位数分别是多少?


答:1415.5

51.

IC制造工程中,铝溅射的厚度规格为1.0±0.1um200210月的实绩经计算为Xbar±3σ=1.04±0.03um,则其Cpk值为多少?


答:2

52.

若上例中铝溅射的厚度规格为Target=1.04um, USL=1.1um, LSL=0.9um,则其Cpk值又为多少?


答:2


53.

某产品的可能失效率为27/10000件,则其Cpk值大约为多少?


答:1

54.

下图是一个cake baking实验数据,请计算其main effect.


Cake Example

Average



Time

Temp

Rank



25 (-)

335 (-)

5



25 (-)

365 (+)

7



35 (+)

335 (-)

11



35 (+)

365 (+)

17



答:main effect of Time=8; main effect of Temp=4.

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