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ASML光刻机 其大小堪比一台大卡车 日前，全球光刻巨头ASML（阿斯麦）正式澄清，EUV要进口到中国大陆完全没有任何问题！2019年，中国大陆或将迎来首台EUV光刻机的消息震惊半导体行业。网上关于我国为什么需要ASML已分析的足够多，今天，我们就来聊一聊ASML的发展史，看一下先进的理念是如何帮助ASML成为半导体行业的光刻巨头。 出自飞利浦，穷困逼迫ASML走向开放式创新； 1984年，一群年轻人怀抱颠覆产业的梦想，从飞利浦独立出来。当时的飞利浦正在执行大规模的裁员计划，经济每况愈下。因此，这群年轻人没能从飞利浦拿到融资，只能独自熬过开发周期。没有办法，他们只能向政府、向一些客户游说，告诉他们，我们愿意与你们合作，愿意跟你们分享我们的利润，而且你们可以用很低的价格就能拿到我们的机器。让我们来共同研发吧。这种整合现有资源，并最大利用外部资源的商业新形式最终成为如今现有企业的新理念：开放式创新。 补充：上世纪八九十年代正值高度垂直整合的巅峰，那时的飞利浦、索尼是其中的代表性企业，不管一个新产品需要什么组件，我都要自己去完成。今天的三星手机就是高度垂直整合的代表，处理器、屏幕、内存、电池等都是自家的。而如今的苹果则是开放式的代表，它只作为一家设计公司而存在，至于制造全部交给其它企业。 台积电与三星 十三年前的上一场技术革命，奠定了ASML今日的地位； 半导体业上一个革命性巨变，发生在十三年前。现任台积电研发副总、世界微影技术权威林本坚，在当时力排众议，认为将市面既有的一九三奈米微影透过水折射的效果要比当时被期待接棒的一五七奈米的效果更好。 ASML也迅速呼应台积电，一年后，推出世界第一台以水为介质的浸润式微影实验样机，EUVL产业化试验样机ADT（ALpha Demo Too1)，其NA为0.25，获得了32 nm的分辨率,。该技术大受欢迎，迅速成为业界主流，日本的Nikon与佳能投入巨资研发的一五七奈米微影技术，竟从此被搁置。 这是这家半导体设备业的后起之秀，成为世界第一的关键转折。该公司在微影市场的市占率因此从2001年的25%，一路快速爬升到现在的80％。 不断提高技术整合能力和严格的供货商认证与管理； 除了掌握关键技术外，要能有效整合，更必须需要了解每个细节，才能辨识出好坏，做出最完美的组合。ASML形容自己的整合行动为做一个好的足球队长，指挥有专长的前锋、后卫、边锋等各司其职，共同开发，这就好像是在爵士乐的即兴表演中，只要指挥说一声，“今天用A短调演奏。”大家便能心领神会地奏出美妙的歌曲。 例如和蔡司的合作，就持续了20多年，一直十分顺畅，互利共赢。最关键零件之一，由德国蔡司生产的反射镜得做到史无前例的完美无瑕，瑕疵大小仅能以皮米（奈米的千分之一）计。这是什么概念？ASML总裁暨执行长温彼得（Peter Wennink）接受《天下》独家专访时解释，如果反射镜面积有整个德国大，最高的突起处不能高于一公分高。 变客户为股东，全力发展； 大获成功的ASML意识到，要想长盛不衰，除了要具备关键技术和整合能力，和客户的关系也必须紧密。因此，在摩尔定律趋缓之际，ASML抓准时机，找来客户当股东，共同投资下一代光刻技术，让ASML能继续专注在研发关键技术上。“如果没入股，到时候别人都是打折价，我是全价怎么办？设备不买我的怎么办？”在分析英特尔、三星、台积电为何要共同入股ASML的时候，有业界人士如是说。 今天的ASML最高端的EUV光刻机，3400B，已累计收到的订单有21台，总价值达到了23亿欧元，单价超1亿欧，媲美一架F35战斗机。 |
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