tsmc的 RPO 层(第34层)或umc的SAB层(第29层),在画poly
resistor和ESD时都用到了,这一层有什么作用,增大电阻率吗?在工艺上是怎样实现的呢? RPO其实只是一个用在光刻的掩膜,它的作用是在做完POLY以后,再做 salicide 的时候,将有RPO的地方档主,这样有RPO的地方就不会有硅化物形成,这样保持了POLY较高的电阻率,主要用于做POLY电阻和在ESD的时候为了提高其方块电阻而采取的工艺步骤。 另外,解释一下Salicide的用途。 Salicide中文翻译过来就叫硅化物,其实是比较薄的一层金属和多晶的合金体,一般多是钛或者是钨或者是其他混合物,其主要目的是在多晶硅表面相对比较薄的一层上面生长出一层(或者是淀积)金属-硅的硅化物(比较复杂的分子结构吧,具体不说了),目的是降低多晶上的电阻率(一般在做GAME或者在做POLY连线的时候,希望POLY上的电阻越小越好)。而在做电阻或者在做ESD的时候,为了提高其电阻和耐压,往往需要POLY上具有比较大的电阻率,所以就不需要做SALICIDE这一层,因此在设计版图的时候需要有这么一个MASK,在SALICIDE的时候区分于其他POLY部分。。。 不知道说清楚没有。。。 不过有一点还不太明白,在长salicide的时候是只在多晶上长吗,可是ESD里面的RPO层不光在poly上有,在diff上也有的,在diff上的RPO层又有什么作用呢?而且poly上的RPO层有的是完全覆盖poly,有的是两侧有一点交叠,有的poly上没有但drain的diff上有,可以麻烦再解释一下吗? 作用是一样的啊, DIFF上其实也有硅化物的,在CONTACT的地方一般都还会做一层金属化的'钨钉’。
至于说ESD上面为啥有的地方有有的地方没有,我想这是根据不同的需要吧,有的是2kv的有的是5kv的,电阻率当然是不一样了。
而且ESD上为了保持正S/D之间的电阻率一样,往往会在边界的地方做些处理,使之与中间部分的电阻和沟道能保持一致,避免出现失效。。。 恩。。。也没有理论分析,只是自己感性说说咯
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