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周一利好光刻胶概念 ASML官宣全新半导体技术 5nm工艺产能有望暴涨600%全球最大光刻机设备商ASML近日在官网宣布，完成第一代HMI多光束检测机HMI eScan1000的测试。据悉，HMI eScan1000是一套基于HMI多光束技术的检测系统，用于验证先进工艺生产出来的晶圆质量。工艺越先进，检测系统就越重要，后者的检测精度、吞吐量决定了生产的效率。该设备适用于5nm及更先进工艺，突破之处在于能够同时产生、控制九道电子束，帮助产能提升600%，可以减少晶圆质量分析所用的时间。 光刻机是半导体制造领域的核心设备之一，阿斯麦公司是全球技术水平最高、影响力最大的光刻设备供应商，也是全球最先进极紫外（EUV）光刻机的唯一供应商。 福晶科技通过欧洲代理和ASML签署保密协议，已提供部分产品。子公司福建睿创光电科技有限公司开展衍射光学及微光学等产品的开发、生产和销售业务。 蓝英装备控股子公司UCM AG为荷兰光刻机制造商ASML公司提供精密清洗解决方案。 华特气体是是国内唯一通过ASML公司认证的气体公司，产品技术领先，参与30项国家标准制定，目前拥有国内8寸以上集成电路制造商超过80%的客户覆盖率。 上海新阳购入的Nikon205C光刻机用于配套FRF厚膜胶开发，ASML1400光刻机配套ARF光刻胶开发。 |
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