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随着老的深紫外光刻（DUV）在7nm/10nm时代到达极限之后，极紫外光刻就成了全村人的希望。台积电基于EUV开发出了他们的7nm+工艺，目前已经确定将用在几款新的手机处理器上，而三星那边也宣布自己基于EUV的7nm工艺投产并且已经有实际的产品出来了，Intel也是在之前就宣布将在7nm时代使用EUV工艺。  而到目前为止，只有一家光刻设备生产厂能够提供EUV光刻设备，这家厂就是业内著名的ASML公司。他们在本周公布了2019年第三季度的财务报告，数据显示他们在第三季度中收到了来自不同客户的23份EUV光刻系统订单，这使得他们在上个财务季度达到了公司有史以来的最高单季预定额，总数达到51.11亿欧元，比上季度数据高出80.72%。而总收入和净收入数据也很好看，总收入达到29.87亿欧元，净收入达6.27亿欧元。三季度中ASML交付了7台EUV光刻系统，这使得今年交付的EUV光刻系统总数达到了18台。 EUV作为一项高难度工艺，目前也只有寥寥几家代工厂有能力使用它，还因为EUV设备的提供商仅有ASML一家的缘故，全球到现在不过只有约60台EUV光刻工具，远少于DUV设备的数量。除了将EUV工艺应用于高密度的处理器生产流程之外，三星和SK海力士还在考虑将EUV引入到DRAM的生产中，使1x/1y nm工艺更上一个台阶。而随着主要半导体代工厂在规划自己未来的工艺时纷纷使用EUV技术，ASML的业绩也将继续走高。 |
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