中科院微电子所硅光平台

中国科学院微电子研究所

硅光平台

平台优势：

★ 国内首个完整硅光工艺流片能力平台

★ 2017年5月对外发布

★ 通过产业化公司运营服务

★ 累计服务客户200余家

★ 专业的光子芯片加工中心

IMECAS

国内首个完整硅光工艺流片

能力平台

面向后摩尔时代微电子与光电子的发展需求，中科院微电子所（IMECAS）基于8英寸CMOS工艺线开发了成套硅光技术，包括硅光流片工艺库和基础器件库，制定了硅光器件和芯片的设计规则和工艺规范，形成了硅光PDK，并于2017年5月正式发布了国内首个具有完整硅光工艺流片能力的硅光平台。 

▲IMECAS硅光平台发展历程

微电子所硅光平台已实现与主流光子集成设计软件Synopsys OptoDesigner集成。用户可以在软件中调用IMECAS工具包，利用平台PDK提供的器件库，便捷、灵活地进行符合平台规范的硅光芯片设计。

IMECAS

定位技术服务

微电子所硅光平台已对外提供包括无源器件和有源器件在内的硅光全流程工艺服务。

▲IMECAS硅光平台

平台主要工艺模块包括220nm/150nm/70nm无源器件刻蚀工艺、高速调制器掺杂工艺、TiN加热器电极工艺、锗材料外延工艺、硅和锗的欧姆接触及金属层工艺等。

▲IMECAS硅光平台部分工艺及器件

平台每年可对外提供4-6次MPW流片服务。同时为了满足客户的特殊工艺要求，可提供工艺定制服务。

▲IMECAS硅光平台技术服务

IMECAS

产业化公司运营服务

中科微光子科技（成都）有限公司主要基于中科院微电子所硅光平台开展硅基光电子器件及集成芯片的制备和测试等技术服务，广泛面向光通信、数据中心、光量子计算、激光雷达、微波光子、生物传感等应用领域。

公司由中科院微电子所、中科芯未来微电子科技成都有限公司（中科微电子产业技术西南研究院）共同组建，位于成都市双流区芯谷产业园。

IMECAS

累计服务客户

截止到2020年6月底，微电子所硅光平台已为200余家客户提供了MPW和定制化流片服务。客户包括国内外顶级科研机构及行业龙头企业，如：华为、清华、海信等。

IMECAS

平台发展目标

平台立志成为国内专业的光子芯片加工中心，为国内外硅光技术研发和硅光产品开发提供最先进的工艺支持。

imecas

下半年流片计划

IMECAS

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