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MEMS，又叫微机电系统，是建立在微米/纳米技术基础上，对材料进行设计、加工、制造、测量和控制的技术。它可将机械构件、光学系统、驱动部件、电控系统集成为一个整体单元的微型系统。 根据Yole研究预测，全球MEMS器件市场规模将从2020年的121亿美元增长至2026年的约182亿美元，复合增长率为7.2%。预计到2026年，10亿美元以上的MEMS细分领域包括射频类MEMS器件、MEMS惯性器件、MEMS压力传感器、MEMS声学传感器等。（引自GPLP犀牛财经） 爱发科的MEMS技术主要面向压电MEMS以及非制冷红外传感，本篇主要介绍其中的溅射环节。 壹 压电薄膜 爱发科PZT溅射技术的发展 ✔ x15 FOM 持续改善@15 years ※FOM = 击穿电压 V x 压电系数 C/m2
2.0μm-PZT薄膜的压电系数和击穿电压 ✔提高了压电系数|e31| : 14.7 →15.5 C/m2 ✔显著提高的击穿电压: ~100 →>200 V
经时介电击穿（TDDB）性能大幅提高
卓越的量产制造能力 ✔Qualified deposition rate and Pb composition ✔ULVAC设备另一大优势是稳定的量产可靠性
贰 VOx热敏电阻薄膜 TCR绝对值>2.3%/K 工作温度区间内无迟滞
厚膜VOx特性优化 ✔Normal 60nm ⇒Thicker 120nm
热稳定性优化 ✔新型硬件提高了250°C下的热稳定性
量产稳定性 ✔出色的WIW和WTW电阻均匀性
爱发科溅射设备 SME-200和uGmni系列 ✔晶圆制造用溅射设备新机型，约300台销售业绩 ✔可用于各种材料成膜（金属、PZT、BST、AlN、SiNx、Al2O3) ✔在诸多领域取得了行业领先的成果
SME-200
uGmni系列  |
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