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PZT薄膜 PZT薄膜 PZT压电薄膜 锆钛酸铅薄膜 钙钛矿相PZT薄膜 硅基PZT薄膜 Pt-Si上面的PZT薄膜 PZT压电薄膜 镀PZT薄膜膜硅片、SOI片，规格可满足4寸、6寸、8寸。 PZT镀膜产品，具有成膜温度低、成膜速率快、成膜均匀性好、压电系数高、疲劳特性好等特点，广泛应用于MEMS传感器件，在压电超声波传感器、压电换能器、压电执行器中得到越来越多的应用，是下一代传感器件的优良材料。
同时我们可根据客户的需求，定制SOI基片各层厚度及PZT成膜厚度，可进行批量加工。 用途：仅用于科研 类别：铁电薄膜 相关薄膜： ZnO/SiO2复合薄膜 SiO2/Si衬底制备ZnO薄膜 Ge/ZnO/SiO2薄膜 钠钙玻璃基底ZnO薄膜 Ti/Pt/ZnO复合薄膜 Ti/ZnO/Pt 复合薄膜 Pt/Ti/ZnO复合薄膜 |
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