1、行业的主管部门和监管体制
半导体专用设备行业的主管部门为工信部和科技部，行业自律组织为中国半导体行业协会和中国电子专用设备工业协会。
工信部主要职责为：提出新型工业化发展战略和政策，协调解决新型工业化进程中的重大问题，拟订并组织实施工业、通信业、信息化的发展规划，推进产业结构战略性调整和优化升级；制定并组织实施工业、通信业的行业规划、计划和产业政策；监测分析工业、通信业运行态势，统计并发布相关信息，进行预测预警和信息引导；负责提出工业、通信业和信息化固定资产投资规模和方向（含利用外资和境外投资）、中央财政性建设资金安排的意见，按国务院规定权限审批、核准中国规划内和年度计划规模内固定资产投资项目；拟订高技术产业中涉及信息产业等的规划、政策和标准并组织实施，指导行业技术创新和技术进步，以先进适用技术改造提升传统产业等；承担振兴装备制造业组织协调的责任，组织拟订重大技术装备发展和自主创新规划、政策，依托国家重点工程建设协调有关重大专项的实施，推进重大技术装备国产化，指导引进重大技术装备的消化创新。
科技部主要职责为：拟订中国创新驱动发展战略方针以及科技发展、引进国外智力规划和政策并组织实施；牵头建立统一的中国科技管理平台和科研项目资金协调、评估、监管机制；拟订中国基础研究规划、政策和标准并组织实施；编制中国重大科技项目规划并监督实施；拟订科技成果转移转化和促进产学研结合的相关政策措施并监督实施等。
根据观研报告网发布的《2022年中国半导体专用设备市场分析报告-行业竞争现状与发展战略规划》显示，中国半导体行业协会和中国电子专用设备工业协会主要负责贯彻落实政府产业政策；开展产业及市场研究，向会员单位和政府主管部门提供咨询服务；行业自律管理；代表会员单位向政府部门提出产业发展建议和意见等。
工信部、科技部和行业协会构成了半导体设备行业的管理体系，各行业内企业在主管部门产业宏观调控、行业协会自律规范的约束下，面向市场自主经营，自主承担市场风险。
2、行业主要法律法规政策
观研报告网发布的资料显示，半导体专用设备行业是中国重点鼓励发展的产业。为推动半导体产业发展，增强产业创新能力和国际竞争力，带动传统产业改造和产品升级换代，进一步促进国民经济持续、快速、健康发展，中国中央及地方政府近年来推出了《信息产业发展指南》《中国（上海）自由贸易试验区临港新片区集聚发展集成电路产业若干措施》等一系列鼓励和支持半导体产业发展的政策，为半导体产业的发展营造了良好的政策环境，促进了中国大陆半导体专用设备行业的发展。 |
