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图示石英砂到芯片的全过程

 Wangxn625 2022-08-20 发布于北京

1.石英砂

硅是地壳内第二丰富的元素,以二氧化硅(SiO2)的形式存在。

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2.硅熔炼

电子级硅(EGS),平均每一百万个硅原子中最多只有一个杂质原子。

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3.单晶硅锭

硅纯度 99.9999%。

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4.硅锭切割

晶圆 (Wafer)片

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5.晶圆

切割出的是晶圆经过抛光后变得几乎完美无瑕,表面甚至可以当镜子。

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6.光刻胶(Photo Resist)

蓝色部分就是在晶圆旋转过程中浇上去的光刻胶液体。

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光刻一:光刻胶层随后透过掩模(Mask)被曝光在紫外线(UV)之下,变得可溶。

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光刻二:

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7.溶解光刻胶

光刻过程中曝光在紫外线下的光刻胶被溶解掉,清除后留下的图案和掩模上的一致。

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8.蚀刻

使用化学物质溶解掉暴露出来的晶圆部分,而剩下的光刻胶保护着不应该蚀刻的部分。

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9.清除光刻胶

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10.光刻胶

再次浇上光刻胶(蓝色部分),然后光刻,并洗掉曝光的部分,剩下的光刻胶还是用来保护不会离子注入的那部分材料。

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11.离子注入(ion implantation)

在真空系统中,用经过加速的,要掺杂的院子的离子照射(注入)固体材料,从而在被注入的区域形成特殊的注入层,并改变这些区域的硅的导电性。

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12.清除光刻胶

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13.晶体管就绪

在绝缘材(品红色)上蚀刻出三个孔洞,并填充铜,以便和其它晶体管互连。

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14.电镀

电镀将铜离子沉淀到晶体管上。

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15.铜层

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16.抛光

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17.金属层

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18.晶圆测试

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19.晶圆切片(Slicing)

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20.丢弃瑕疵内核

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21.单个内核

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22.封装

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23.处理器

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24.等级测试

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25.装箱

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