1.石英砂 硅是地壳内第二丰富的元素,以二氧化硅(SiO2)的形式存在。
2.硅熔炼 电子级硅(EGS),平均每一百万个硅原子中最多只有一个杂质原子。3.单晶硅锭 4.硅锭切割 5.晶圆 切割出的是晶圆经过抛光后变得几乎完美无瑕,表面甚至可以当镜子。
6.光刻胶(Photo Resist)
光刻一:光刻胶层随后透过掩模(Mask)被曝光在紫外线(UV)之下,变得可溶。7.溶解光刻胶 光刻过程中曝光在紫外线下的光刻胶被溶解掉,清除后留下的图案和掩模上的一致。8.蚀刻 使用化学物质溶解掉暴露出来的晶圆部分,而剩下的光刻胶保护着不应该蚀刻的部分。
9.清除光刻胶 10.光刻胶 再次浇上光刻胶(蓝色部分),然后光刻,并洗掉曝光的部分,剩下的光刻胶还是用来保护不会离子注入的那部分材料。
11.离子注入(ion implantation)
在真空系统中,用经过加速的,要掺杂的院子的离子照射(注入)固体材料,从而在被注入的区域形成特殊的注入层,并改变这些区域的硅的导电性。
12.清除光刻胶 13.晶体管就绪 在绝缘材(品红色)上蚀刻出三个孔洞,并填充铜,以便和其它晶体管互连。
14.电镀
15.铜层 16.抛光 17.金属层 18.晶圆测试 19.晶圆切片(Slicing) 20.丢弃瑕疵内核 21.单个内核 22.封装 23.处理器 24.等级测试 25.装箱
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