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剥离液和它的湿电子化学品朋友圈

 赵志勇2000 2022-09-07 发布于江苏

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导言:

我们现在正在看的手机、电脑屏幕都用到剥离液。据调研报告显示,在LCD面板制造所需的湿电子化学品中,剥离液占比31%;在OLED面板制造所需的湿电子化学品中,剥离液占比44%;剥离液是显示面板制造中用量最大的湿电子化学品之一
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剥离液,属于湿电子化学品中的一种。
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湿电子化学品上下游(点击查看大图)

湿电子化学品,是电子行业湿法制程中的关键材料,其主体成分纯度高、杂质离子和微粒数符合严格要求的试剂,比普通化学试剂优级纯的等级还要高。其纯度和洁净度对电子产品的成品率、性能及可靠性均有十分重要的影响。


如果剥离液有朋友圈,它会加哪些好友,又会记录下哪些日常?

剥离液的朋友圈


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剥离液属于湿电子化学品中光刻制程中配套试剂之一,广泛应用于光伏太阳能显示面板半导体领域。


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原创绘图:西洋菜

在制程工艺中,剥离液“认识”了和它一起工作的3个小伙伴:清洗液、显影液、蚀刻液,它们常在同一块基板上“见面”,可称为“湿电子化学品四大才子”。

剥离液是用来干嘛的?

简单了解了剥离液的朋友圈,接下来,我们就展开讲讲剥离液是做什么的吧。

剥离液通常用在蚀刻工艺完成之后,用于去除光刻胶和残留物质,同时防止对下层的衬底层造成损坏。
可以说我们现在正在看的手机、电脑屏幕都用到剥离液。据调研报告显示,在LCD面板制造所需的湿电子化学品中,剥离液占比31%;在OLED面板制造所需的湿电子化学品中,剥离液占比44%;剥离液是显示面板制造中用量最大的湿电子化学品之一

那么,剥离液是如何应用在显示面板中的呢?我们以“人体的新器官”——手机为例。现在最常见的手机屏幕主要是LCD屏和OLED屏。
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LCD/OLED制造流程:前段(Array)-中段(Cell)-后段(Module)

剥离液主要应用于显示面板制造中Array制程的剥离工序中,参与去除剥离多余的光刻胶。

剥离的原理

随着高精度光刻技术的发展,蚀刻的图案也越发的微细化,金属和氧化膜的蚀刻条件变得苛刻,以致光刻胶的受损变大且光刻胶变质。出于这种原因,即便用有机溶剂处理,光刻胶也依然残留在基板上,因此,需要强有力的剥离液消除残留物的组合物。
面对不同的剥胶需求,剥离液也有不同的类型。按剥离光刻胶分,可分为正胶剥离液负胶剥离液按溶剂类型分为:水系剥离液有机系剥离液半水基系剥离液

一般剥离液的主要成分是溶剂、有机铵和醇醚。反应原理主要是把光刻胶的长链结构断开使光刻胶变成小分子,从而被溶解、冲洗离开基板表面,确保无光刻胶残留。

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为了保护金属基板表面,剥离液的成分通常会加入特殊添加剂,既要防止产生腐蚀的物质,又要保证容易清洗,不会残留在金属表面。

打造“湿电才子”的条件

剥离液之类的湿电子化学品前景广阔,但是想要做出来没有那么容易,需要以下四个层级:

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产业链

为了实现技术保密性,生产企业会与上游原料供应商保持密切合作关系,增大了客户的转换成本。同时为了保证产品质量,生产企业往往围绕下游制造业布局,以减少运输距离。

资质

湿电子化学品大多属于易燃、易爆、强腐蚀的危险品,需要具备危化品经营许可证、危化品运输证,同时在运输过程中极易受污染,对包装、运输工具也有较高要求,运输成本也较高。

资金

产品技术等级越高,研发资金投入多。实现剥离液规模化生产,所需投资规模较大且具有持续性,以取得设备、研发、技术服务等方面的竞争优势。

生产及检测

湿电子化学品的专业性非常强,其纯净度及功能对终端制造良率及成品有着至关重要影响,而且每种应用领域对产品规格需求不同,所需技术和功能会有所不同,对供应商技术积累及生产、检测技术要求非常高。需要掌握以下三个方面的关键技术能力:

  • 分离纯化技术(纯化类)

  • 复配工艺技术(复配类)

  • 检测分析技术


西陇科学在发展湿电子化学品方面,既有丰富的原材料和配套产品,又有靠近下游的独特优势,通过技术创新,逐步建立了较完整的自主研发、生产、质量检测体系,为客户提供优质的产品和解决方案。根据西陇科学2021年年度报告,在报告期内,公司实现营业收入68.38亿元,其中电子化学品营收10.28亿元,占总营收15.04%。


西陇科学正胶剥离液系列产品,剥离效果良好,目前已向国内部分显示面板企业稳定供应。

西陇科学 PPS-XL600系列 正胶剥离液

西陇科学的PPS-XL600系列正胶剥离液可应用于显示面板中各类制程结构中正性光刻胶及干刻残留物质的剥离、去除。含特殊添加剂,可有效防止对Al / MO / Cu / ITO / IGZO 等金属、衬底膜层的腐蚀。

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产品特性

  • 气味较低,绿色环保

  • 适用于正性光刻胶剥离,剥离能力强,无胶膜残留

  • 制程温度低,工作环境稳定安全

  • 良好的水溶性,水洗无残留,有效减少水洗段不良

  • 不攻击基材,适用于显示面板各种制程结构正性光刻胶剥离,如AI/Cu/IGZO制程

  • 低蒸发率,挥发后对剥离性能及防腐蚀低影响

产品制程优势

1. 水洗段不良减少

  • 干燥性不良减少
  • 剥离液的DIW置换容易,减少水洗段不良产

2. 药液混入稳定性

  • 水洗段的DIW混入到剥离段时不会影响剥离性能
  • 水洗段的DIW流入到剥离段时不良发生最低化

3. 工作环境稳定安全

  • 较少有机蒸汽挥发,更加安全环保
  • 更低制程温度,拥有良好剥离性能
  • 有效成分中不可燃,无爆炸危险

剥离效果图

剥离效果SEM图

材质

Gate

SD

剥离前

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剥离后

(45°)

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(点击查看大图)

基材防腐蚀SEM图

材质

Metal 1

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A-Si/SiNx

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Metal 2

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ITO

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(点击查看大图)

生产能力

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湿电子化学品车间1

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湿电子化学品车间2

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反应釜内衬四氟

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检测实验室

(左右滑动查看)

西陇科学具有湿电子化学品复配车间、剥离液产线、蚀刻液产线、超净高纯试剂及半导体材料车间,配备有PTFE过滤系统和洁净分装区间,可定制化学品和服务。

检测分析设备

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ICP-MS

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GC-MS

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全自动电位滴定仪

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近红外光谱仪

(左右滑动查看)

西陇科学拥有先进的分析实验室,具备数百台高精专业检测仪器,在质量检测上,有精确到PPt等级的ICP-MS,还有GC-MS仪器,确保产品质量。


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西陇科学部分C7级通用型湿电子化学品

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湿电子化学品运输专用槽罐车(实拍于西陇科学佛山厂)

西陇科学湿电子化学品种类较多,有过氧化氢、硫酸、无水乙醇等通用型湿电子化学品,也有正胶/负胶显影液、ITO/铝蚀刻液、正胶剥离液等功能型湿电子化学品,产品规格可按客户需求定制。

END


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资料来
源:西陇科学

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