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半导体行业常用的高纯石英砂是什么

 悠悠道长 2023-05-12 发布于上海

高纯石英砂一般是指二氧化硅含量高于99.9%的石英微粉,属于中性无机填料,不与被填充物发生反应,是一种非常稳定的矿物填料。

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高纯石英具有独特的物理、化学特性,特别是内在的晶体结构、形状和晶格变化规律使其具有耐高温、耐腐蚀、抗磨、热膨胀系数小、高度绝缘、压电效应、谐振效应以及独特的光学特性,是国家战略性产业和支柱性产业发展过程中不可替代的基础性材料。

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高纯石英在半导体、光伏、光纤、电光源等领域应用广泛,其中半导体领域应用规模最大,占比高达50%。

高纯石英砂是石英坩埚的原材料,而石英坩埚是用来装放多晶硅原料或单晶回收料的石英器件,主要应用于光伏和半导体领域,可支持高温条件下连续拉晶,是生产单晶硅片拉晶环节中的关键部件。

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高纯石英材料由于其耐温、耐酸、低膨胀和极佳的光谱透过性的特殊物理性能,满足了半导体工业对载具材料中碱金属和重金属含量的苛刻要求。在半导体生产过程中需要消耗大量的石英片、环、板、法兰、刻槽舟、扩散炉管、清洗槽等高品质石英材料。

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