ISTEQ XWS-30宽带光源 测试数据分享

荷兰ISTEQ B.V，多年来一直为半导体行业高端市场用户提供高亮度、高稳定、长寿命的激光泵浦宽谱光源。自2022年4月以来，上海瞬渺光电经由ISTEQ B.V授权向国内各大高校、研究所及企业客户提供XWS-30等离子体宽带光源样机的试用服务。在历次的试用测试过程中，许多用户对于XWS-30等离子体宽带光源的输出光谱和输出稳定性的具体测试数据非常感兴趣，故上海瞬渺光电在此分享下XWS-30在200-1100nm光谱范围内的输出亮度光谱和~5小时的输出稳定性数据。

XWS-30 输出光谱 @200-1100nm：

  

XWS-30 输出稳定性 测试时间~5小时 测试波长635nm：

出厂标称值：

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XWS-30性能参数：XWS-30输出光谱 @190-800nm：

XWS-30
光谱范围	190-2500nm (XWS-30 UV); 250-2500nm (XWS-30 OFR)
光谱辐射亮度	~40mW/(mm2·sr·nm)
输出功率	空间光输出~1.5W; 光纤耦合输出~0.4W
灯泡介质材料	氙
发光体尺寸	100×200μm
使用寿命	10,000小时
稳定性	STD<0.15%
数值孔径	0.5-0.55范围内根据需求可调
空间光输出方式	C-mount, Thorlabs SM1, 30mm cage等接口
光纤输出方式	SMA或FC光纤（仅支持FCU版本）
可选项配置
光谱选择	UV或OFR
输出方式	自由空间输出或光纤耦合输出
灯室冷却方式	风冷
规格及工作条件
灯室规格	110×110×120mm, 2kg
供电	100-240V, 50/60Hz
充气保护	6级以上洁净度的氮气或氩气充气保护，流量1L/min

如果您对该光源产品感兴趣，有任何的疑问或者需要安排样机进行测试，请随时与我们联系，上海瞬渺光电很乐意为您提供相关服务和帮助。

荷兰ISTEQ B.V.简介

ISTEQ B.V. 位于荷兰埃因霍温的High Tech Campus 9 5656AE，是一家激光驱动等离子体光源、极紫外光刻和检测设备的制造商。ISTEQ隶属于莫斯科EUV labs/RnD-ISAN集团，自2013年成立起一直专注于极紫外光刻和相关技术的研发。多年来，ISTEQ一直为半导体行业光刻设备最大的供应商ASML供货，团队的大多数成员也都有在ASML的工作经历。

此外，ISTEQ团队的科学家和工程师还致力于为全球客户提供终端服务和解决方案。从最新的科学成果发布，到最终设备的研发、定型和制造，ISTEQ致力于以客户为中心，从而实现乃至超越客户的要求。