纯水,纯化水,超纯水有什么区别?1、制造的难易程度不同。 目前市场上使用的纯水基本上都是经过反渗透、蒸馏等方法制得。纯化水是用水经蒸馏法、离子交换法、反渗透法或其他适宜方法制备得到的制药用水。而超纯水是在纯水的基础上还要经过光氧化技术、精处理和抛光处理等一系列复杂的纯化技术制得的,这样的水是一般工艺很难达到的程度,通过双级反渗透水处理设备辅以EDI 设备,就可以制备超纯水。 2、重金属、细菌、微粒数等指标也大不相同。 纯水杂质含量是ppm级,而超纯水为ppb级。这种水中除了水分子外,几乎没有什么杂质,更没有细菌、病毒、含氯二恶英等有机物,当然也没有人体所需的矿物质微量元素,接近理论上的水,也就是几乎去除氧和氢以外所有原子的水。 3、对输送管道材质的要求也不相同。 超纯水和纯化水对输送管道材质的要求要比纯水严格的多。 4、电导率不同。 纯水电导率在 2-10us/cm 之间,纯化水电导率≤0.2us/cm,超纯水的电导率为 0.056us/cm。 5、用途不同。 纯水主要应用在生物、 化学化工、冶金、宇航、电力等领域。 纯化水一般作为供药用的水。 超纯水一般用于电子、电力、电镀、照明电器、实验室、食品、造纸、日化、建材、造漆、蓄电池、化验、生物、制药、石油、化工、钢铁、玻璃等领域。 UPVC/CPVC管道材质使用说明及工艺冷却水及纯水管材选择简析一、材料特性: 三、物理性能:1、UPVC物理性能表:
2 、CPVC物理性能表:
四、 UPVC/CPVC管道之使用温度与操作压力对照表: 本表系以常温73℉(23℃)时,UPVC/CPVC管道之使用操作压力为100%,随着温度的升高,其操作压力残余的百分比。
PS:有带螺牙的管线,UPVC部分不得超过110℉(43℃);CPVC部分不得超过150℉(66℃)。 电子洁净厂房工艺给水主要有工艺冷却水及纯水。 工艺冷却水主要应用于各种工艺设备的冷却。由于工艺设备内的冷却管道有很多为管径很细的毛细管道,为避免毛细管道的结垢,对工艺冷却水的水质也提出了相应的要求。 纯水主要应用于各种电子产品的清洗,纯水的使用可以避免水中杂质对电子产品的污染。应用于电子厂房的纯水的主要特点不只是水的电阻率高,还对颗粒度、总有机碳(TOC)、总硅、溶解氧(DO)、以及各种离子的含量有不同的要求。 1 工艺冷却水管道的选择 半导体、TFT-LCD等行业的工艺冷却水系统为避免工艺设备冷却盘管的结垢及堵塞,对工艺冷却水水质提出了要求。 以某半导体厂工艺冷却水设计水质为例:电阻率>30 kΩ· cm硬度<0.5德国度因此工艺冷却水管道的选择主要考虑两个方面的要求,一方面是对水质的要求;另一方面是对管道腐蚀的要求。 工艺冷却水管道主要有不锈钢管道及塑料管道两种。 (1)不锈钢管道 根据工艺冷却水的水质要求,SS304不锈钢管即可满足要求,但是半导体、TFT行业通常采用纯水制备过程中产生的反渗透(RO)出水作为工艺冷却水的补充水源,而RO出水根据纯水制备工艺流程的不同其酸碱度也有所不同。当水的pH值呈中性或弱碱性时,可采用SS304不锈钢,当水的pH值呈酸时(RO出水在不加碱的情况下通常呈酸性),需采用抗酸性好的SS304L不锈钢。 根据不同工程的调研发现,不锈钢管道的腐蚀均发生在接口处及管道的底部。分析其主要原因,接口腐蚀主要在于焊接过程中未采用氩弧焊接而造成的氧化层破坏,使氧化层下的不锈钢金属铬合物造成腐蚀。管道底部腐蚀主要是由于管道冲洗时采用自来水,而自来水中含有较多的余氯,冲洗后管道内的水未及时排空,造成了在局部管段的集水,当管道施工验收完毕后较长时间系统未投入运行,则容易造成不锈钢的氯腐蚀,不锈钢中的氯离子腐蚀是应力腐蚀,在“奥氏体不锈钢-CL”中,溶液中氧的存在是促进金属的钝化,而氯离子则破坏金属的钝化,同时进入裂缝的尖端,构成盐酸,使腐蚀加剧。 所以不锈钢管道选择时需考虑一定的腐蚀余量,应至少选用壁厚等级为Sch-10S级的产品,并采用正确的焊接方式,且在管道冲洗后应将管道内的水放空、吹干。 (2)塑料管道 根据工艺冷却水的水质要求,PVC管道即可满足要求。常用的PVC有两种,硬质聚氯乙烯(PVC-U)由聚乙烯单体聚合而成的一种热塑性高分子化合物;氯化聚氯乙烯(PVC-C)由聚氯乙烯树脂氯化得到的一种独特的聚合物。由于PVC管道有较强的耐腐蚀性,故而即使水质呈弱酸、弱碱性,也不会造成管道的腐蚀。 但塑料管道需注意工作压力的问题,由于工艺设备内的冷却管道管径小而造成了较大的水头损失,故而,工艺冷却循环水系统的工作压力较高,在管道的选择时应根据应力计算确定管道的压力等级。特别需注意的一点是管道的压力等级并不等于设计管道的允许工作压力。管道应力公式: 式中:P为管道允许的工作压力(MPa); d为管道外径(mm); e为管道壁厚(mm); C为设计系数; σ为管道应力(MPa)。 以PN16 PVC-U管道为例,管径110 mm×8.1 mm,管道应力15.5 MPa,设计系数2.5,液体温度40℃。 由此可见虽然管道的压力等级为PN16,但该管道的允许工作压力为9.86 MPa。 因此,通常选择Sch80-PVC管应用于工艺冷却水系统。Sch-80为ASME(美国机械工程师协会)的壁厚标准,Sch就是“schedule”,管道的壁厚等级。Sch是设计压力与设计温度下材料的许用应力的比值乘以1000,并经圆整的数值。即: Sch.=P/〔ó〕t ×1000 式中:P为设计压力(MPa);〔ó〕 t为设计温度下材料的许用应力(Mpa)。 管道表号(Sch)并不是壁厚,是一壁厚系列。 同一管径,不同的管道表号,其壁厚不同。Sch愈大者管壁愈厚。 PVC管道存在大口径管道难以采购,且施工困难的缺点,故而PVC管道通常可应用于小于DN100的支管,干管仍采用不锈钢管,两种管道采用法兰连接。由于小管径的Sch80-PVC管的价格较不锈钢管低,故而可节省投资。 随着新型管材的大量推广和应用,在应用时应特别 注意管道的腐蚀性问题及管道接口问题。由于工艺冷却水通常采用RO出水或软化水作为补充水源,其存在一定的腐蚀性,管道内壁必须有足够的抗腐蚀性。很多管道本身抗腐蚀性没有问题,但管道接口处理不好容易造成接口处的腐蚀。比如,钢衬不锈钢管道,接口不能保证水不与非不锈钢部分的完全隔离;钢衬塑管道、钢涂塑管道,无论是丝扣连接、卡环连接、沟槽连接还是法兰连接均不能保证外层金属与水的完全隔离。 2 纯水管道的选择 电子超纯水通常为电阻率>15 MΩ·cm(25℃)的纯水,而此时电阻率已经不是重要的因素,需根据其他指标的要求进行具体分析。 (1)管材性能比较 选择管材的依据主要是管道的溶出物(见表1)及内表面光洁度。主要应用的管道有Clean-PVC管、洁净PP管、PVDF管几种。Clean-PVC管采用耐冲击硬质聚氯乙烯制造,其比普通PVC管含有较少的添加剂。从而减小了管道内壁的粗糙度(Clean-PVC管的表面粗糙度小于0.37 µm,而普通PVC管的表面粗糙度在1.0 µm)以及污染物的析出。制造商主要有“积水国际贸易有限公司(SEKISUI)”、“日本旭有机材株式会社(ASAHI AV)”。洁净PP管材质为(β)-PP-H均聚型聚丙烯,具有非常均一、致密的结构和出众的抗冲击强度。其高结晶度确保了极好的耐化学品性能,二氧化钛色素的使用进一步提高了此特性。其内壁粗糙度及污染物的析出性能与Clean-PVC接近。制造商主要有乔治.费歇尔管路系统有限公司(+GF+)。PVDF管材质为聚偏二氟乙烯,是一种高结晶度,高性能热塑性塑料,可用温度/压力范围广。其主要特性是力学强度高、韧性好、具有优异的耐磨性、热稳定性和介电性,其纯度高,能熔融成型,对于大多数化学品和溶剂都具有很好的耐腐蚀性、抗紫外线和核辐射性能好、耐候性好、耐生物菌类的作用、气体和液体阻隔性好、阻燃性好、发烟量少等优点。聚偏二氟乙烯是一种纯净的材料,它不含任何添加剂,且其表面光滑,粗糙度小于0.2µm。制造商主要有乔治·费歇尔管路系统有限公司(+GF+)、奥地利AGRU公司。 (2)管材选择 以几种典型电子洁净厂房用纯水进行比较(见表2)。 类似于6英寸半导体前工序、TFT-LCD的水质可选择Clean-PVC管或洁净PP管。 Clean-PVC管从80年代即应用于半导体行业,现在在纯水中得到了广泛的应用。其优点在于由于得到了广泛的应用,故而供应商都有一定量的库存,所以交货周期较短,安装技术也比较简单,通常进行半天的教室和现场培训即可。其缺点在于,管道的粘结和安装的质量。这也是众多的半导体厂中有大量的PVC管道系统失效和漏水问题的原因。PVC管路系统失效主要是粘结质量不好所造成的,PVC的连接方法主要是胶水粘接,这要求胶水能使粘接部位的表面软化,软化部位然后被压紧,它的粘接质量同操作人员的技术的相关性非常大,而且不同的人及不同部位的粘接质量一致性很差。粘接要求有足够的胶水被涂上并且均匀性要求非常好,管路和管件的粘接部位要非常干净且光滑,并且管路要求完全地插入管件。但是由于插入粘接的特性,实际粘接部位是看不见的,缺陷可能存在,并将对整个系统造成极大的风险。 由于PP是热熔焊接的,所以没有PVC那样担心的沾污,如粘接溶剂和其他有机溶剂等在PVC管道中经常使用的稳定剂。而这些粘接剂及有机溶剂会产生有机物沾污(TOC)。另外,PP管道的红外热熔焊接采用计算机控制避免了人工操作的质量参差不齐,并能对焊点进行100%的检查。这使得PP管道相对于Clean-PVC在安装质量上更有保证。但是PP管道在管路/管件的价格及安装费用上要高于Clean-PVC。 根据英特尔遍布全球的封装测试厂的报告,每年都有大量的PVC管路系统失效和漏水问题,失效是由多种原因引起的,其中就包括不适当的粘接,缺少支撑,安装过程中没有对准所引起的冲击等。因此在英特尔新建的封装测试厂已开始广泛采用洁净PP管取代Clean-PVC作为首选管材。 类似于8英寸半导体前工序或更高水质要求的以PVDF管道为主。 如表2所示,8英寸半导体对纯水水质指标的要求相当严格,Clean-PVC及洁净PP已不能满足其要求,而PVDF管道的溶出物及管道内壁光洁度都远强于Clean-PVC及洁净PP,故而只能选择PVDF管道。在国内的半导体生产中也有8英寸采用Clean-PVC管道的成功案例,但经过实测分析后发现,这类生产厂的产品都是从6英寸升级至8英寸的,也就是在6英寸纯水管道系统运行若干年后升级为8英寸的,而Clean-PVC管路系统经过长时间运行后,其溶出的离子呈逐步减少的趋势。以某电子厂为例,一期厂房纯水系统未设置专门的除TOC紫外线灯,仅依靠制备过程中对TOC的去除,在运行了若干年后,其回水管道TOC可以达到15ppm,而二期新建的纯水系统,设置了专用的除TOC紫外线灯,在系统开始运行阶段的站房出口TOC,也只有50 ppm。正是由于这种特性,所以纯水系统在投产前需经过相当长时间的冲洗运行。所以在从6英寸升级到8英寸的生产中,经过若干年冲洗的Clean-PVC管道也是有可能达到使用要求的。而PVDF管道可以在短时间内冲洗到较低的指标,如表3所示。为了节省初投资,纯水回水管道可以采用Clean-PVC或者洁净PP管代替PVDF,由于纯水回水需经过抛光系统的再次处理,所以即使回水中有较多的溶出物也不影响供水的水质,只是会影响抛光系统的维护费用,但长时间运行后维护费用的差别会逐步减小。 3 结论 综上所述,笔者认为,对水质有较高要求的电子洁净厂房的工艺冷却水,管道应首选Sch-10S级不锈钢管及Sch80-PVC管。 类似6英寸半导体前工序及TFT-LCD厂房的水质,可使用Clean-PVC与洁净PP管道,但洁净PP在连接方式及施工质量上有明显的优势,故而,洁净PP管可以代替Clean-PVC在纯水系统管道中得到更广泛的应用。 类似8英寸及12英寸半导体厂房的水质,需采用PVDF管道作为首选。由6英寸升级到8英寸半导体水质的管道系统,可采用已运行多年的Clean-PVC管路系统而不必更换成PVDF管路系统。 对医药纯化水管道系统设计的探讨摘要:制药纯化水循环管路是一种特殊供水系统,药典对其微生物有控制要求,作者在循环管路的流速设计,在线紫外线的选型、照射剂量的控制,周期消毒系统优缺点的比较从理论进行了探讨,并在实践中求证,最后确定了流速的设计依据、提出了在线和周期消毒系统的选型观点,从而使供出的纯化水保证最低的微生物水平。 关键词:纯化水循环管路、循环流速、中压紫外灯、热水周期消毒 纯化水是制药工业生产中极其重要的一种原料,它必须符合药典标准, 根据中国药典、欧盟药典、美国药典等 ,纯化水在总有机碳、细菌内毒素、微生物限度、PH、电导、易氧化物、重金属、硝酸盐、亚硝酸盐、氨等指标上有控制,这些指标中除了微生物、细菌内毒素二个指标以外,可以通过制水工艺来得到控制,当纯化水在输送的期间,微生物在适宜的环境中就会生长,从而细菌内毒素增加。纯化水通常是连续生产的原料,难以在使用前安批次发放;微生物检查结果滞后于水的使用。为了确保纯化水的质量,设计一个能保质保量输送纯化水 的管道系统是极其重要的。 纯化水循环管路系统包括卫生级供水泵、在线消毒系统、定期消毒系统、管路、阀门、多种传感器和用水点等组成。 细菌存在于纯化水输送的循环管道系统中,为了控制微生物的生长,我们在设计和施工中采取了6个方面的措施,1:尽量维持高的管道流速。2:使用光滑表面的管道。3:安装在线紫外线消毒和周期消毒装置 。4:使用卫生级的阀门。5:将死角和隐蔽处减到最少,例如:使用T型隔膜阀,几乎没有死角。6:以ASME BPE的标准进行施工。我们在设计纯化水管道系统时从以下几个方面来统筹考虑使微生物不宜在管道中繁殖。 一:纯化水管道流速的设计 纯化水输送管道系统应采取循环方式⑴,所有使用点都处在这一个循环管道上,管道内合理的流速设计有利于微生物的控制。从纯水泵以一定量的纯化水送出以后,通过循环管路到达各个使用点。当输送管为同一管径时,随着各使用点取水增加,越到管道后面,其管道内的流量就越小,其流速也越小,存在低于最低设计流速的风险,所以循环管道使用同一直径管道对纯化水系统是不合适的。一般设计选择渐变缩小管径,以便保证其后面管道也有较高的流速。但是,随着用水负荷的变化,有时会因为在循环管道上会增加使用点,而渐变缩小的管道又不能满足使用点的流量。简化管道流速匹配设计,常常把循环管道直径设计成二个管径,所有使用点前设计成一个较大直径的管道,最后一个使用点以后设计成较小管径的管道,这段管道我们称之为回水管道。 流体在管道内流动,从流体力学上可分成二种流动状态⑵,一种称之为层流(滞留),流体质点的运动迹线成轴向有条不紊运动,流体处于这样的流动状态下其雷诺数(Re)小于2300。另一种称之为湍流,流体质点的运动迹线不仅有轴向流动,同时又有径向流动,流体处于这样的流动状态下其雷诺数大于4000。流体的雷诺数处于2300~4000时,其流动状态为过渡状态,也称之为不稳定状态,由于流体的粘度不同,其过渡状态的雷诺数也不同,当雷诺数超过了10000以上所有流体都处在湍流状态。只有流体真正处于稳定的湍流状态下,流体中的质点才不至于停留在管壁上,由于微生物的分子量要比水分子量大得多,即使管壁处的轴向流速为零m/sec,而管壁处的径向流速不为零m/sec,此时管壁处微生物的动量大于管壁处水的动量,处于稳定状态的湍流中的微生物不易滞留在管壁上生长,在管壁上不易形成生物膜。所以雷诺数大于10000是设计纯化水管道管径的必需达到的条件。 ISPE指南中指出防止营养物聚集和细菌黏附在管壁所需要的流速要超过3ft/s或雷诺数大于湍流值⑸。从纯化水管道实际运行来看,当在大量用水的生产期间,保证管道中大于3ft/s流速或更高流速很容易做到,但是在不生产期间或低流量运行时,由于送出水管管径较大,在回水管道中的流速已经到达了水流速的上限时,送出水管的流速也达不到3ft/s。研究表明在低于3ft/s的流速,雷诺数达到20000以上的较低流速在全球许多大的制药公司普遍采用,并能保证管道中 不利于微生物附着生长的状态⑹。因此,以20000雷诺数以上为目标来设计送、回水管道的管径和流量更符合实际的需要 。 二:在线紫外线消毒器的选型 在纯化水循环系统中安装在线紫外线消毒器主要是杀灭从制水系统中进入的微生物和循环水流中滋生的微生物,保证供出纯化水的微生物在规定的质量标准下。目前大部分的循环系统中都安装254nm的紫外线消毒器。 1:紫外线的杀菌原理 典型的微生物结构如图(1)所示,微生物的体内都含有RNA(核糖核酸)和DNA(脱氧核糖核酸),而RNA和DNA的共同特点是具有由磷酸二酯按照嘌呤与嘧啶碱基配对的原则相连的多核酸链,它对紫外光具有强烈的吸收作用。紫外线杀菌的原理一般认为它与破坏细胞内代谢、遗传、变异等现象起着决定性作用的核酸相关,波长在200~300nm之间的紫外线有杀灭作用,其中以254nm波长的紫外线灭菌效果最好。这是因为细胞中的DNA(脱氧核糖核酸)核蛋白的紫外吸收峰值正好在254~257nm之间⑶。 2:中、低压紫外杀菌装置 紫外线灯管一般常用低压灯管和中压灯管二种,低压紫外灯管管内气压<103Pa,杀菌用的紫外灯是发出254nm单色紫外光,单只灯管功率小于100W;中压紫外灯管管内气压104~106Pa,200nm~300nm多谱段连续紫外光输出,单只灯管功率高达7000W。微生物经过254nm的紫外光照射以后,其DNA就发生了变化,如图(2)、图(3)所示,紫外线灭菌器不能100%的把菌杀灭,低压灯管的杀菌效果常常以99.9%来作为衡量指标,或者说是3-log的去除。一些没有杀灭的微生物(受到损伤的),经过一定时间以后,其DNA会自我修复,所以传统的低压紫外线消毒能控制微生物的数量而无法确保完全杀灭微生物。 图(1) 微生物典型结构 图(2) 紫外线照射前和照射后的DNA结构 图(3) 微生物经低压紫外线照射后仅破坏DNA 从理论方面谈,细菌、病菌和病毒长期暴露在太阳光下面(日光中包括紫外线),几千年的时间,这些细菌、病菌和病毒必然产生对紫外线产生一些抗体,这种抗体在这里被人们称为活化酶。活化酶存在于细菌和病菌的细胞内,一旦细菌和病菌的DNA 受到损伤,这种活化酶就会发挥功效,帮助受损部分迅速恢复成原来的状态。这样一个反应过程被称为细菌和病菌的复活反应,在有光的情况下此种反应能进行的非常迅速 ,但同时也会发生在黑暗的状况下。而多谱段中压紫外线在作用于细菌和病菌的DNA 和RNA 的同时,也作用于这种活化酶,理论上有可能彻底杀灭生长状态的微生物 。实际试验数据也证明了这种理论,2002 年加拿大科学家曾经在实验室做个这样一个对比试验,如图(4)试验在完全相同的设计实验条件下进行,试验结果有效: 图(4) 经低压和中压紫外线照射后微生物的光复活的对照试验 实验前,培养皿中均有 这个数量级的大肠杆菌,经紫外线照射后,大肠杆菌迅速下降 。试验显示,受到低压紫外线照射后的大肠杆菌迅速的复活和再生,能反弹至 数量级(有光条件下)。而受到中压紫外线照射后的大肠杆菌,无论是在有光或是黑暗的情况下,复活和再生反应都完全无法进行。因此,从上述试验结果提示 ,中压紫外线技术是一种比低压紫外线更持久的,更有效的杀菌技术, 如图(5)所示。 有些微生物在254nm不敏感,但是由于中压紫外灯管发出多谱段紫外光,所以对一些254nm不敏感的菌也有很好的杀菌效果,如图(6)所示。由于是多谱段紫外光,185nm的紫外线对TOC(总有机碳)有降解作用。多谱段紫外光对循环管道用臭氧、双氧水等进行灭菌后的残留有分解作用。 图(5) 微生物经中压紫外线照射后不仅破坏DNA还破坏其他组织 图(6) 不同波长紫外线对不同微生物杀菌效率曲线 3:光强检测 紫外灯管实际点燃功率对杀菌效率影响很大,随着灯点燃时间的增加,灯的辐射能量随之降低,杀菌效果亦下降,所以紫外灯通常是点燃8000小时以后就下降到原来照射能量的60%以下。工厂以点燃8000小时和紫外灯相对指示强度表到60%以下作为更换灯管的依据。 杀菌效果是由微生物所接受的照射剂量决定的,表一是不同微生物对于紫外线辐射剂量的要求。 表一 从上述公式看出,照射剂量不仅与紫外灯管的功率有关,同时与水的流量有关,流量越大,停留时间越短,照射剂量越小。按照紫外装置上的相对指示强度显示器显示的数值仅能反应紫外灯管的强度,并不能代表照射剂量。当瞬时纯化水用量增大时,相对指示强度就不能准确的反应杀菌效果。从表一和大量的实验数据总结出,以30mj/cm2的绝对照射剂量,更能保证纯化水在线杀菌效果。当紫外灯管从开始使用以后,其照射功率不断下降,特别是到接近寿命的终了时,在大水流量使用时照射剂量就会达不到30 mj/cm2,在控制显示系统上设定一个大于30 mj/cm2的警报值,提醒维护人员更换灯管,使得纯化水的运行一直在30 mj/cm2以上的安全剂量上运行。中压紫外灯管功率大、价格高,以30 mj/cm2的绝对照射剂量来决定更换灯管的指标,就废弃了8000小时更换灯管的指标,提高了灯管的利用率,节约了成本。利用在线紫外线最大有效的杀灭微生物,保证纯化水循环管道内持续受控是有积极意义的。 三:系统周期杀菌装置 四:纯化水系统设计实例 管道流速设计 2 中压紫外线装置的使用 和杀菌剂量的控制 3 实际微生物的状况 超纯水方案全解析洁净室资料:搜的到,可下载! 知识星球APP内的文件均支持手机在线阅读及电脑下载,现有洁净室技术、工程图纸、标准规范、项目管理、培训课件、选型样本、行业调研等17200+份文件可供下载学习,涵盖电子半导体、医疗、制药、实验室、食品、化妆品、锂电池、太阳能电池、薄膜新材料、数据中心、动物房等行业领域,内容覆盖项目规划、设计、采购、施工、调试、运维、节能等应用场景。2023年5月,知识星球VIP迎来了第2600位会员,也期待你的加入! 知识星球VIP会员精品资源 1、半导体厂建专题 2、厂务管理&二次配技术专题 3、锂电池&转轮除湿 4、预算造价&洁净室技术标 5、洁净室项目管理 6、制药&生物制药 7、100级洁净室运维管理 8、洁净室质量控制及对策 9、洁净室机电及动力系统计算选型 10、BIM族库&BIM技术应用 11、实验室&动物实验室 12、洁净室设计&选型样本 13、药厂专题(GMP认证、4Q) 14、医疗器械 15、数据中心 16、图纸、图集、标准、规范 17、医院、洁净手术室 18、太阳能电池片 19、食品、化妆品 20、洁净室设计图专题 21、洁净室培训资料专题 22、洁净区空调系统设计方案 23、1000级洁净室空调系统调试 24、FFU应用方式及相关的问题 25、FFU在电子超净工程中应用 26、半导体工厂(FAB)大宗气体系统的设计 27、洁净室检测与认证培训课件 28、洁净室设计技术专题 29、超纯水系统施工工艺 30、电子超纯水系统工程设计方案 31、施工方案专题资料 32、MAU+FFU+DCC系统专题 33、MAU+AHU+HEPA系统专题 34、洁净室检测与调试培训课件 35、半导体生产车间温湿度控制系统设计 36、生物制药行业洁净室HVAC系统专业培训 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