真空沉积

真空气相沉积是一种无溶剂大面积钙钛矿电池制备工艺。与溶液制备工艺相比。它具有以下优点：①真空沉积方法可以形成更均匀的无针孔钙钛矿薄膜：②它可以避免溶剂的危害；③真空气相沉积对制备尺寸的可调节程度要高很多。气相辅助薄膜沉积方法，包括物理气相沉积（ PVD ，含单源或多源热蒸发、连续热蒸发）、化学气相沉积（ CVD ）以及混合气相沉积（ HCVD ）等。

通常情况下， PVD 法制备钙钛矿薄膜时，需要分别控制每种前驱体的沉积速率来满足形成钙钛矿晶体所必需的化学计量比；同时，由于钙钛矿薄膜的反应动力学受温度的影响，还需要进行温度控制；此外，在热蒸发时，还需要尽可能地减少前驱体中有机卤化物的分解。因此， PVD 法制备高效率钙钛矿光伏电池的难点较多，相关的报道也较少。 Fan 等人［106］将高纯度的 MAPbI 单晶升华，在真空条件下沉积 MAPbI 薄膜。之后， Liang 等人［107］通过单源气相沉积制备了100cm2的 MAPbI 薄膜。由于所制备的钙钛矿薄膜的光电性能较差，单源气相沉积法获得的上述电池的转换效率仅为10.90％和7.73%。

 CVD 法制备钙钛矿薄膜时，钙钛矿晶体的形成始终基于两步法，即使用有机卤化物蒸气（ MAI 、 FAI 等）和卤化铅（ PbI 、PbBr2、 PbCl ）反应得到钙钛矿，最近， Li 等

摘自:第6章大面积钙钛矿太阳能电池制备与产业化