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热超声键合是在超声波键合的基础上,采用对产品加热的方式,加强了原子相互扩散和分子间作用力,实现引线的高质量焊接。而实现键合中最重要的一个工具之一就是劈刀，劈刀主要分为毛细管劈刀和楔形劈刀。毛细管劈刀主要用于球焊键合，楔形劈刀主要用于楔焊键合。本文主要介绍的是Capillary，在球焊键合过程中，键合丝穿过Capillary。然后通过EFO熔化键合丝的末端以获得自由空气球（FAB）。FAB与焊盘接触，通过压力、温度和超声能量施加到球上一段时间，从而形成Bonding。球在此过程中的变形除了键合工艺参数影响外，最主要的就是Capillary的尺寸和几何形状所决定。Capillary一般是指陶瓷劈刀（毛细管劈刀），它是键合工艺中最核心的一个Bonding Tool。陶瓷劈刀主要材料是氧化铝，主要因为氧化铝具有很强的耐磨损和抗氧化能力。而除了氧化铝外，还会加入氧化锆、氧化铬等，铬的加入会使得陶瓷劈刀显示出粉红色，该颜色就是来源于铬。
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