MOCVD的应用范围2008-07-22 16:50 [编辑:ivan]
最近LED产业除了有大量的MOCVD新机台成军外,业界关注的另一个焦点是也有LED厂商要打造三五族的太阳能电池,MOCVD的应用有哪些呢?我们来看看。 金属有机化学气相沉积系统(MOCVD)是利用金属有机化合物作为源物质的一种化学气相淀积(CVD)工艺,其原理为利用有机金属化学气相沉积法metal-organic chemical vapor deposition.MOCVD是一种利用气相反应物,或是前驱物precursor和Ⅲ族的有机金属和V族的NH3,在基材substrate表面进行反应,传到基材衬底表面固态沉积物的工艺。 MOCVD主要功能在于沉积高介电常数薄膜,可随着precursor的更换,而沉积出不同种类的薄膜。对于LED来说,LED芯片由不同半导体材料的多层次架构构成,这些材料放在一个装入金属有机化学气相沉积系统的圆形芯片上。这个过程叫做晶体取向附生,对于决定LED的性能特徵并因此影响白光LED的装仓至关重要。 |
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