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一.定义: 表面缺陷标准:依据美国军用标准MIL-O-13830B用两组数字表示表面缺陷大小。例如40/20(或40-20)前者限制划痕大小,后者限制麻点大小。 道子、亮路、伤、擦痕都统称为划痕。 斑点、坑点、点子 都称为麻点。 规定长与宽的比大于4:1的为划痕;长与宽的比小于4:1的为麻点。 当元件的不同区域表面光洁度要求不一样时,等效直径的计算以区域进行:表面质量要求高的内区域其等效直径以内区域为准(如有效孔径的区域),表面质量要求低的外区域计算的是整体元件的等效直径。 如下图元件表面质量要求不同,则在判定A区是否符合要求时,应取内圆直径进行计算。而B区则取整个元件的圆直径 划痕: 以美国军用标准《MIL-O-13830》的表面质量划痕样板作为各级数划痕的比对标准。(注意:美军标未指明划痕的计量单位也即未确定划痕的宽度和深度,只能以实际观察样版为标准。) 这里的划痕级数就是通常的划痕号数,标准样版有10#、20#、40#、60#、80# 5个级。 1.当元件的划痕级数超过表面质量要求的划痕级数时,元件不合格。 例如:元件的表面质量要求为60—40,则代表元件的划痕必须≤60#,如果元件有>60#的划痕,则元件不合格。 2.当元件的划痕级数未超过表面质量要求的级数,但元件存在最大划痕时,所有最大划痕的长度之和应不超过元件直径的1/4。 例如:有一长30mm宽10mm的元件,元件的表面质量要求为60—40,有2条60#长为3 mm划痕。 它的等效直径为20mm 1/4D为1/4×20=5mm 最大划痕的长度和为: 3mm+3mm=6mm 6mm>5mm元件最大划伤痕的长度和超过元件直径的1/4。所以元件不合格。 下图是看到的样品(图片是放大的不是实际尺寸) 图中的划痕为20#,且长度>1/4D。对于表面质量要求20-10该产品不合格。但本次样品未提出表面质量要求,而是要大家自已决定光洁度等级。因此该产品划痕可判为40#。
例:有一长30mm宽10mm的元件,元件的表面质量要求为60—40,元件上有2条2mm的60#划痕,3条4mm的40#划痕。 它的等效直径为20mm 1/4D为1/4×20=5mm 最大划痕的长度和为: 2mm+2mm=4mm 4mm<> 但所有级数的划痕乘以划痕长度与元件直径之比所得乘积之和为: 1.60#划痕长度为(2+2);40#划痕长度为(4+4+4) 2.60#划痕乘以划痕长度与元件直径之比为60×(2+2)/20; 40#划痕乘以划痕长度与元件直径之比为40×(4+4+4)/20 3.所有级数的划痕乘以划痕长度与元件直径之比所得乘积之和为: [60×(2+2)/20]+[40×(4+4+4)/20=36 元件最大划痕级数为60;60的一半为60/2=30)36>30;因此,元件不合格 如下图所示的产品
所有级数的划痕乘以划痕长度与元件直径之比所得乘积之和为: 20 ×0.7/5+10 ×2/5=2.8+2=4.8<>20# 4.当元件的划痕级数未超过表面质量要求的级数,且元件不存在最大划痕时,所有级数的划痕乘以划痕长度与元件直径之比所得乘积之和,不得超过最大划痕级数。 例①:元件为?10,表面质量指标60—40,有2条50#划痕2mm,1条40#划痕3mm,另2条40#划痕2mm,2条20#划痕2mm,10#划痕长度合计10 mm。 所有级数的划痕乘以划痕长度与元件直径之比所得乘积之和为: [50×(2+2)/10]+[40×(3+2+2)/10]+[20×(2+2)/10]+[10×10/10]=66 元件最大划痕为60# 66>60;因此,元件不合格。 下图看到的样品,图片是放大的不是实际尺寸.
20×2.2/5+10×7/5=8.8+17=25.8 25.8<> 5.当元件质量指标要求划痕等级为20或优于此等级时,元件表面不准有密集划痕即在元件中任何一个?6.35mm面积的区域,不允许有4条或4条以上的大等于10#划痕。 例:表面质量指标为20-10,?20mm, 在如下图所示的区或有2条长1mm和2条长0.5mm的10#划痕。 它符合5.1.1;5.1.4 (无需考虑5.1.2;5.1.3) 但它不符合5.1.5条。元件不合格。 下图是看到的样品,图片是放大的不是实际尺寸. 图中有5条划痕,该元件直径为6mm;对于表面质量要求20-10该产品不合格。对于表面质量要求40-20则该产品所有级数乘以划痕长度与元件直径之比所得乘积之和为: 20×2.2/5+10×7/5=8.8+17=25.8 25.8<> 麻点: 依据美国军用标准MIL-O-13830B麻点的级数取允许缺陷的实际直径,规定以1/100mm作为计量单位。如果麻点形状不规则。则应取最大长度和最大宽度的平均值作为直径。 (注意:美军标的麻点与划痕不同,麻点是可计量的也即麻点的大小是确定的,50#麻点也即直径D=0.5mm的麻点) 1.当元件存在超过表面质量要求的麻点级数时,元件不合格。 例:元件为?20mm,质量指标要求为60—40,元件有1个直径0.5mm的麻点 50>40元件不合格。 2.每20mm直径上只允许有1个最大麻点。 例:元件为?20mm,质量指标要求为60—40,元件有2个直径0.4mm的麻点元件不合格 3.每20mm直径上所有麻点直径的总和不得超过最大麻点的2倍 例:40mm×40mm的元件,质量指标要求为60-40,其中一个?20mm的区域有40#点子一个,20#点子一个,10#点子一个,同时在另一个?20mm区域中,20#点子2个,10#点子4个,5#点子1个。 下图是本次样品,图片是放大的不是实际尺寸. 有1个5#点子,1个3#点子。(但然这些点子有可能擦掉就看不到了这里只是作为例子来说明)。这产品如果不考虑两点间距可以判定点子为级数5。为什么?因为产品只有1个最大点子5#,而所有的点子之和为0.05+0.03=0.08<>点子的两倍),所有点子可判定为级数5#。
例:元件40mm×40mm的元件,质量指标要求为20-10,有两个5#的点子,点子之间的距离为0.8mm. 0.8mm<>不合格 下图是本次样品,图片是放大的不是实际尺寸. 有1个5#点子,1个3#点子。是上面的例子,刚才将它判定为5#,但对于5#级数两点间距必须大于1mm,因此元件不符合要求,所有本元件的点子只能判为20#。 5.小于2.5um的麻点略去不计。
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