无论在工业还是日常生活中,使用着大量光学镜组组件,如摄影器材、眼镜、先进的激光切割或扫描设备等。 随着应用的复杂和精度要求的提升,对镜组组件尤其是频繁使用的球面镜的加工精度要求也随之提高。用于检测相关组件参数的检测仪器也必须提高。
北京理工大学成功研发的激光差动共焦干涉组件参数测量仪器,是全球首台能够对球面光学元件同时进行多种参数高精度综合测量的仪器,不仅免除购买多台测量仪器的需要,且大幅减少测量中因更换仪器而反复装调的时间。作为核心组件之一,雷尼绍的XL-80系列激光干涉仪为测量仪提供稳定可靠的测长数据。
球面镜被广泛应用于工业、科研等范畴,半导体制程中的航天摄像系统、望远镜等对内部光学组件有极严格要求。在北理工成功开发激光差动共焦干涉组件测量仪前,市场上没有能同时进行相关参数测量的仪器。 北理工光电学院赵维谦教授说:“差动共焦干涉测量主机向被测镜射出测量光束并聚于标准透镜焦点处,被测透镜通过多维调整架架设在气浮导轨上,由机电移动平台带动调整架与被测透镜沿光轴方向移动。当测量光束汇聚点与被测透镜前表面顶点或后表面顶点重合时,光束由被测镜表面反射,沿路返回进行数据分析,同时测长激光干涉仪(XL-80) 实时采集被测透镜的位置坐标数据。” 系统工作原理 以下是几个典型参数的测量原理:
赵教授说:“选择XL-80系列是因为它是市场上为数不多能够同时提供精度性能和稳定可靠性的激光干涉仪。雷尼绍多年来都是国际测量界公认的权威指标之一,无论在规格还是系统稳定性层面均给予我们充足的信心。” XL-80激光头可以产生非常稳定的激光光束,采用的波长可溯源至国家和国际标准。精确稳定的激光源和准确的环境补偿,保证了±0.5 ppm的线性测量精度。可以高达50kHZ频率读取数据,最高线性测量速度可达4 m/s,即使在最高速度下线性分辨率仍可达1 nm。不仅仅是直线测量,所有测量选项(如: 回转轴)均采用干涉法测量,使用户对记录数据的精度有信心。 球面镜图解 在系统兼容性方面也十分出色,允许测量数据与客户端系统进行整合。在开发软件过程中,工程师编程时就是通过使用XL-80专属动态连接函数库,把实时数据从XL-80激光干涉仪整合到自家的系统。 感谢关注“雷尼绍中国”
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