当真空镀膜机出现故障后应首先要向使用者了解故障的现象,之后要亲自开机观察故障,这样才能更准确、更快、更合理的排除故障。 以下列举真空镀膜机常见故障及维修方法: 1、蒸发源水路胶圈损环(更换胶圈) 2、坩埚被打穿(更换坩埚) 3、高压电极密封处被击穿(更换胶圈) 4、工转动密封处胶圈损坏(更换胶圈) 5、预阀突然关闭可能是二位五通阀损坏(更换二位五通阀) 6、高阀突然关闭可能是二位五通阀损坏(更换二位五通阀) 7、机械泵停机可能是继电器断开(检查继电器是否正常) 8、烘烤引入线电极密封处被击穿(更换胶圈) 9、挡板动密封处胶圈损坏(更换胶圈) 10、玻璃观察视镜出现裂纹、炸裂(更换玻璃) 二、长期的镀膜机抽真空的时间很长且达不到真空、恢复真空、极限真空、保真空: 1、蒸发室有很多粉尘(应清冼) 2、扩散泵很久未换油(应清冼换油) 3、前级泵反压强太大机械泵真空度太低(应清冼换油) 4、各动密封胶圈损坏(更换胶圈) 5、由于蒸发室长期温度过高使其各密封胶圈老化(更换胶圈) 6、蒸发室各引入水路密封处是否有胶圈损坏(更换胶圈) 7、各引入座螺钉、螺母有无松动现象(重新压紧) 8、高低预阀是否密封可靠(注油) 常见的真空镀膜机维修办法就先分享到这里了。 |
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