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中国氟化工产业发展情况 氟化工产品是指含氟化学品的制造与开发，氟化工产品是一种新型的化工材料，因其产品的高附加值和高性能而被誉为“黄金”产业。氟化工产品按其分子结构和性能不同，可划分为含氟单体、有机氟化物和无机氟化物。 氟化工分类  资料来源：智研咨询整理 据测算，2016-2021年中国氟化工行业市场规模逐年上升，2021年市场规模大约为665亿元。综合来看，氟化工行业年均复合增长率为22.1%，这主要得益于下游空调制冷系统和新能源汽车行业对于氢氟酸和六氟磷酸锂的需求十分旺盛。  资料来源：智研咨询整理  三氟化氮（NF3）概述 三氟化氮（NF3）是无机氟化物的一种，在常温下是一种无色、无味、性质相对稳定的气体，是电子工业中优良的等离子蚀刻气体和反应腔清洗剂，可单独或与其它气体组合用作等离子体工艺的蚀刻气体，例如 NF3、NF3/Ar、NF3/He 用于硅化合物 MoSi2的蚀刻；NF3/CCl4、NF3/HCl 既用于 MoSi2的蚀刻，也可用于 NbSi2的蚀刻。 三氟化氮理化性质分析  资料来源：智研咨询整理  中国三氟化氮（NF3）行业生产销售情况 无机氟化工行业被称为“黄金”产业，在国民经济和社会发展中起着重要作用，技术资本密集，产业相关性高，对相关产业升级起着决定性作用。无机氟化物分为如下大类：含氟电子化学品、铝用氟化盐、特种氟化物气体（如：三氟化氮）等。 相关报告：智研咨询发布的《2022-2028年中国三氟化氮行业市场运行格局及发展策略分析报告》 据统计，2015年我国三氟化氮产量在2887.3吨左右，2021年产量增长至15317.1吨，2015-2021年实现年均复合增速32.06%。  资料来源：智研咨询整理 国内三氟化氮产业发展迅速，2015年我国三氟化氮进口901.7吨，出口203.6吨，产品供不应求；2019年我国三氟化氮产品出口数量首次超过进口，到2021年出口量达到1999吨。  资料来源：中国海关、智研咨询整理 根据数据汇总，2021年我国三氟化氮产量15317.1吨，进口1022.4吨，出口1999吨，测算2021年我国三氟化氮行业需求量达到14340.5吨。  资料来源：智研咨询整理  中国三氟化氮（NF3）应用领域及市场结构 三氟化氮作为微电子工业中优良的等离子体蚀刻气体，可裂解成活性氟离子，对硅和钨化合物具有优异的蚀刻速率和选择性。在蚀刻表面上，它可以不留下任何残留物，是一种非常好的清洗剂，能对生产设备腔体的清洗起到很好的作用，在芯片制造、高能激光领域已经获得大量使用。 三氟化氮主要应用领域  资料来源：智研咨询整理  资料来源：智研咨询整理 三氟化氮是电子特气中用量最大的品种，目前对三氟化氮需求拉动最大的是半导体产业和面板产业。半导体产业方面，中国半导体行业协会数据显示，2021年中国集成电路产业销售额为10458.3亿元,同比增长18.2%，且全球集成电路制造正持续向中国大陆转移。面板产业方面，中国大陆已成为全球最大的面板生产地。三氟化氮，作为面板和半导体生产加工过程中的特种气体，具有广阔的市场空间。随着高世代面板生产线的生产和半导体生产工艺的改进，需要更多的光罩层数和清洗频率，三氟化氮需求的增长率将高于面板和晶圆产能的增长速度。 中国三氟化氮（NF3）行业企业竞争格局 目前，中船重工718所、南大光电、昊华科技等国内厂家已成为全球三氟化氮生产的重要力量，其中718所是国内产能最大的三氟化氮企业。随着各企业逐步投产，国内三氟化氮即将进入产能释放期，中国企业也有望进一步提升全球市场的参与度。 资料来源：公司公告、智研咨询整理 |
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